Invention Publication
- Patent Title: 电控反射镜、使用了电控反射镜的电扫描器、使用了电控反射镜的激光加工机及电控反射镜的制造方法
- Patent Title (English): GALVANOMIRROR, GALVANOSCANNER USING GALVANOMIRROR, LASER PROCESSING MACHINE USING GALVANOMIRROR, AND METHOD FOR MANUFACTURING GALVANOMIRROR
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Application No.: CN201780088522.3Application Date: 2017-04-12
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Publication No.: CN110494789APublication Date: 2019-11-22
- Inventor: 久米将实 , 熊田辉彦 , 伊藤洋平 , 小林广纪
- Applicant: 三菱电机株式会社
- Applicant Address: 日本东京
- Assignee: 三菱电机株式会社
- Current Assignee: 三菱电机株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京
- Agency: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- Agent 何立波; 张天舒
- International Application: PCT/JP2017/014986 2017.04.12
- International Announcement: WO2018/189828 JA 2018.10.18
- Date entered country: 2019-09-17
- Main IPC: G02B26/10
- IPC: G02B26/10 ; B23K26/082 ; B41J2/47 ; G02B5/08 ; G02B26/08 ; H04N1/113

Abstract:
电控反射镜(10)具有:具有镜面的镜面部(10A)和与镜面的背面侧接合的背面增强部(12),通过单晶SiC晶片构成镜面部(10A),通过C/SiC材料形成背面增强部(12)。由此,提高镜面部的刚性,并且减薄镜面部,使镜面部的背面增强部轻量化。由此,得到提高电控反射镜的共振频率、即使使其高速移动也高精度且难以歪斜的电控反射镜。
Public/Granted literature
- CN110494789B 电控反射镜及其制造方法、电扫描器、激光加工机 Public/Granted day:2021-07-06
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