电控反射镜、使用了电控反射镜的电扫描器、使用了电控反射镜的激光加工机及电控反射镜的制造方法
Abstract:
电控反射镜(10)具有:具有镜面的镜面部(10A)和与镜面的背面侧接合的背面增强部(12),通过单晶SiC晶片构成镜面部(10A),通过C/SiC材料形成背面增强部(12)。由此,提高镜面部的刚性,并且减薄镜面部,使镜面部的背面增强部轻量化。由此,得到提高电控反射镜的共振频率、即使使其高速移动也高精度且难以歪斜的电控反射镜。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0