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公开(公告)号：CN110494789A
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201780088522.3
申请日：2017-04-12
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 电控反射镜(10)具有：具有镜面的镜面部(10A)和与镜面的背面侧接合的背面增强部(12)，通过单晶SiC晶片构成镜面部(10A)，通过C/SiC材料形成背面增强部(12)。由此，提高镜面部的刚性，并且减薄镜面部，使镜面部的背面增强部轻量化。由此，得到提高电控反射镜的共振频率、即使使其高速移动也高精度且难以歪斜的电控反射镜。
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公开(公告)号：CN107364035A
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201710196932.1
申请日：2017-03-29
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明得到层间剪切强度高的预成型体、使用层间增强纤维预成型体形成的电梯用结构部件、使用层间增强纤维预成型体形成的纤维增强塑料、层间增强纤维预成型体的制造方法、包括层间增强纤维预成型体的制造方法的电梯用结构部件的制造方法和包括层间增强纤维预成型体的制造方法的纤维增强塑料的制造方法。在将两层以上由增强纤维形成的纤维织物层(1～4)重叠并利用缝合线(14)缝合而成的层间增强纤维预成型体中，使缝合线(14)位于纤维织物层(1～4)间的部分相对于层间纤维增强预成型体的层积方向倾斜。
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公开(公告)号：CN101410958B
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN200780010859.9
申请日：2007-03-23
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L21/314 , H01L21/31 , C23C16/507
CPC classification number: H01L21/02274 , C23C16/30 , C23C16/342 , C23C16/511 , H01J37/32532 , H01L21/02112 , H01L21/02205 , H01L21/318
Abstract: 提供了一种等离子体CVD设备，所述等离子体CVD设备包括：具有用于供给具有环硼氮烷骨架化合物的入口(5)的反应室(1)；设置在反应室(1)中的供电电极(7)，用于支承衬底(8)并且被施加负电荷(7)；以及等离子体产生工具(12)，其介由衬底(8)与供电电极(7)相对设置，用于在反应室(1)内产生等离子体(11)。还提供了一种薄膜形成方法，其中薄膜通过采用具有环硼氮烷骨架的化合物作为原料而形成，以及包括由这样方法形成的薄膜作为绝缘膜的半导体装置。本发明能够产生其中低介电常数和高机械强度可稳定保持长时间且保证绝缘特性的薄膜。
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公开(公告)号：CN101545739A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200910009914.3
申请日：2009-01-22
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: F28F19/02 , C08K3/36 , C08L33/18 , C09D1/00 , C09D5/1637 , C09D7/65 , C09D7/67 , C09D7/68 , C09D127/18 , F28D1/0477 , F28F1/32 , Y10T29/49359 , Y10T29/49885
Abstract: 本发明提供涂覆组合物、热交换器、空调机。由以往的涂覆组合物形成的涂层不能满足防污性能和亲水性双方，另外，有机酸的吸附量多。本发明的涂覆组合物，其含有二氧化硅微粒子和氟树脂粒子，形成于物品表面的涂层通过在由二氧化硅微粒子构成的二氧化硅膜中、以从二氧化硅膜的表面部分地露出的方式散布氟树脂粒子而形成，二氧化硅膜的露出面积比氟树脂粒子的露出面积大，并且，包含于该涂覆组合物中的钠量按相对于二氧化硅微粒子的含量的重量比为0.5％以下。
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公开(公告)号：CN101044603A
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200580035904.7
申请日：2005-10-07
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L21/312 , H01L21/31 , H01L21/768 , C23C16/38 , C23C16/509
CPC classification number: C23C16/38 , H01L21/318 , H01L21/76801
Abstract: 本发明提供等离子体CVD装置，其具备供给含有硼嗪骨架的化合物的设备(5)、为了发生等离子体的等离子体发生器、在设置基板(8)的电极(7)上施加负电荷的设备(2)。根据这样的本发明，可以提供长期稳定地获得低介电常数和高机械强度，同时降低在加热膜时放出的气体成分(脱气)量，在器件制造工艺上不引起不适宜情况的等离子体CVD装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110494789B
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN201780088522.3
申请日：2017-04-12
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 电控反射镜(10)具有：具有镜面的镜面部(10A)和与镜面的背面侧接合的背面增强部(12)，通过单晶SiC晶片构成镜面部(10A)，通过C/SiC材料形成背面增强部(12)。由此，提高镜面部的刚性，并且减薄镜面部，使镜面部的背面增强部轻量化。由此，得到提高电控反射镜的共振频率、即使使其高速移动也高精度且难以歪斜的电控反射镜。
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公开(公告)号：CN102316996B
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201080007722.X
申请日：2010-02-08
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: B05D5/083 , B05D1/36 , B05D2420/01 , B05D2451/00 , B08B17/06 , C09D5/1625 , C09D5/1637 , Y10T428/249994 , B05D2401/20 , B05D2401/32
Abstract: 本发明提供涂覆方法，其特征在于包含如下工序：将在水性介质中含有无机微粒和氟树脂粒子的涂覆组合物涂布于被涂布材料的工序；使所述被涂布材料上的所述涂覆组合物干燥以除去所述水性介质，氟树脂粒子分散且具有孔隙的无机微粒的多孔膜形成的工序；将选自水溶性表面活性剂和水溶性聚合物中一种以上的水溶性物质涂布于所述多孔膜、在所述多孔膜的孔隙中填充所述水溶性物质的工序。根据该涂覆方法可以形成抑制油污附着的效果经过长期仍优异，同时，即使附着油污通过擦除或水清洗也可以容易地除去油污的涂覆膜。
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公开(公告)号：CN101583676B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200880002401.3
申请日：2008-01-08
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: F28F19/04 , B05D3/042 , C09D1/00 , C09D5/1637 , C09D127/18 , F24F1/0059
Abstract: 本发明涉及涂料组合物，其包含具有小于等于15nm的平均粒径的二氧化硅超微粒子、和氟树脂粒子，其特征在于，前述二氧化硅超微粒子的含量为0.1～5质量％，并且前述二氧化硅超微粒子和前述氟树脂粒子的质量比为70∶30～95∶5。根据本发明的涂料组合物，能够不损害各种物品表面的色调和手感下容易地进行涂覆，同时能提供防污性能及耐久性优异的涂覆膜。
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公开(公告)号：CN102356134A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201080012354.8
申请日：2010-03-10
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: C09D201/00 , C09D7/12
CPC classification number: C09D7/1216 , C08K3/012 , C08K3/22 , C08K3/28 , C09D5/024 , C09D5/1618 , C09D5/1637 , C09D7/61 , C09D7/67 , C09D127/18 , Y10T428/254 , C08K3/36 , C08K3/0025
Abstract: 本发明提供防污性能高、可提高与塑料等疏水性表面的密合性的涂覆组合物及涂覆方法。所述涂覆组合物在水性介质中分散有疏水性的树脂粒子，具有亲水性的无机微粒和包含过氧化物、高氯酸、氯酸盐、过硫酸、过磷酸、高碘酸盐中的至少任意一种的氧化剂。另外，所述涂覆方法具备：准备如下得到的涂覆组合物的工序：在水性介质中分散有亲水性的无机微粒和疏水性的树脂粒子、进而添加包含过氧化物、高氯酸、氯酸盐、过硫酸、过磷酸、高碘酸盐中的至少任意一种的氧化剂；将所述涂覆组合物涂敷于被涂覆部件的工序；和加热所述被涂覆部件上的所述涂覆组合物的工序。
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公开(公告)号：CN101545739B
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200910009914.3
申请日：2009-01-22
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: C09D127/12 , C09D127/18 , C09D7/12 , F28F19/04
CPC classification number: F28F19/02 , C08K3/36 , C08L33/18 , C09D1/00 , C09D5/1637 , C09D7/65 , C09D7/67 , C09D7/68 , C09D127/18 , F28D1/0477 , F28F1/32 , Y10T29/49359 , Y10T29/49885
Abstract: 本发明提供涂覆组合物、热交换器、空调机。由以往的涂覆组合物形成的涂层不能满足防污性能和亲水性双方，另外，有机酸的吸附量多。本发明的涂覆组合物，其含有二氧化硅微粒子和氟树脂粒子，形成于物品表面的涂层通过在由二氧化硅微粒子构成的二氧化硅膜中、以从二氧化硅膜的表面部分地露出的方式散布氟树脂粒子而形成，二氧化硅膜的露出面积比氟树脂粒子的露出面积大，并且，包含于该涂覆组合物中的钠量按相对于二氧化硅微粒子的含量的重量比为0.5％以下。
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