ESD保护单元的测试及加固方法
摘要:
本发明公开了一种ESD保护单元的测试及加固方法,ESD保护单元设置在待测试芯片中,包括:对待测试芯片施加ESD放电应力;对待测试芯片的管脚进行监测,根据监测结果判断是否为ESD失效;若判断结果为ESD失效,则对待测试芯片进行开封,通过结构分析确定待测试芯片的ESD保护单元中的失效点;对ESD保护单元中的失效点进行加固仿真测试;在测试结果满足要求时,对待测试芯片进行加固;对加固后的芯片重新施加ESD放电应力,并进行监测,直至结果判断为ESD有效为止。本实施例提供的ESD保护单元的测试及加固方法,通过EDA软件对ESD保护单元进行仿真测试,保证芯片通过ESD设计要求并在正常工作状态下具备较高的鲁棒性。
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