本发明公开了一种毛刷式高耐用化学机械抛光聚氨酯材料及其制备方法，由无纺布、多官能异氰酸酯、预聚物多元醇以及耐磨无机材料作为原材料，以无纺布为基底材料，通过湿法六辊强制挤压含浸聚氨酯浆料，有效增加基底材料的聚氨酯含浸量，经过凝聚、水洗、烘干得到化学机械抛光聚氨酯材料坯革；然后经过正反两面打磨，表面平整，得到一种毛刷式高耐用化学机械抛光聚氨酯材料。可用于半导体材料、光学器件、电子显示器件以及贵重金属材料中的切口或者圆弧状断面进行化学机械抛光，解决了现有的平面磨抛光技术不能够解决半导体材料切口或者圆弧状断面等的抛光问题，填补了水平面抛光技术上的不足，进一步切口或者圆弧状断面等抛光加工的技术问题。