发明公开
- 专利标题: FINFET器件及其制备方法
- 专利标题(英): FINFET device and method for preparing same
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申请号: CN201810570891.2申请日: 2018-06-05
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公开(公告)号: CN110571259A公开(公告)日: 2019-12-13
- 发明人: 金兰
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 , 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 上海思微知识产权代理事务所
- 代理商 屈蘅; 李时云
- 主分类号: H01L29/06
- IPC分类号: H01L29/06 ; H01L21/336 ; H01L29/78
摘要:
本发明提供了一种FINFET器件及其形成方法。在形成栅极导电层之后,去除介质材料层中覆盖鳍片顶壁且未被栅极导电层覆盖的部分,以缓解栅极导电层下方的介质材料层受到侧向侵蚀的问题,并利用侧墙同时覆盖栅极导电层和栅极介质层,从而在后续刻蚀鳍片时,能够进一步避免栅极介质层被刻蚀消耗的问题。如此,即可防止栅极导电层从其底部暴露出,进而确保栅极导电层和源漏层之间不会发生桥接的问题,有效改善了所形成的FINFET器件的漏电流现象。
公开/授权文献
- CN110571259B FINFET器件及其制备方法 公开/授权日:2023-04-07
IPC分类: