FINFET器件及其制备方法
摘要:
本发明提供了一种FINFET器件及其形成方法。在形成栅极导电层之后,去除介质材料层中覆盖鳍片顶壁且未被栅极导电层覆盖的部分,以缓解栅极导电层下方的介质材料层受到侧向侵蚀的问题,并利用侧墙同时覆盖栅极导电层和栅极介质层,从而在后续刻蚀鳍片时,能够进一步避免栅极介质层被刻蚀消耗的问题。如此,即可防止栅极导电层从其底部暴露出,进而确保栅极导电层和源漏层之间不会发生桥接的问题,有效改善了所形成的FINFET器件的漏电流现象。
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