激光装置具有光学元件，该光学元件由CaF2晶体形成，紫外的激光倾斜地入射到光学元件的1个面并进行透射，在内部传播的激光相对于上述面的P偏振成分的电场轴和CaF2晶体的 中包含的1个轴一致。光学元件的制造方法包含以下步骤：针对使CaF2的籽晶在 中包含的1个轴的方向上进行晶体生长而形成的晶锭，将从晶体生长方向向 中包含的与晶体生长方向不同的另一个轴的方向倾斜14.18±5°的范围内的角度后的轴作为切断轴，与切断轴垂直地切断晶锭，由此制造光学元件。