发明公开
- 专利标题: 调节器和包括该调节器的化学机械抛光设备
- 专利标题(英): CONDITIONER AND CHEMICAL MECHANICAL POLISHING APPARATUS INCLUDING SAME
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申请号: CN201910079571.1申请日: 2019-01-28
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公开(公告)号: CN110605657A公开(公告)日: 2019-12-24
- 发明人: 李龙熙 , 韩昇澈 , 李羲宽 , 徐钟辉
- 申请人: 三星电子株式会社
- 申请人地址: 韩国京畿道水原市
- 专利权人: 三星电子株式会社
- 当前专利权人: 三星电子株式会社
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道水原市
- 代理机构: 北京铭硕知识产权代理有限公司
- 代理商 田野; 尹淑梅
- 优先权: 10-2018-0060299 2018.05.28 KR
- 主分类号: B24B37/00
- IPC分类号: B24B37/00 ; B24B37/34
摘要:
提供了调节器和包括该调节器的化学机械抛光(CMP)设备。所述化学机械抛光设备(CMP)的调节器包括:调节部件,对抛光垫进行抛光;臂,使调节部件旋转;以及柔性连接器,使调节部件与臂连接,柔性连接器是可移动的以使调节部件关于臂相对移动。
公开/授权文献
- CN110605657B 调节器和包括该调节器的化学机械抛光设备 公开/授权日:2023-05-16