调节器和包括该调节器的化学机械抛光设备
摘要:
提供了调节器和包括该调节器的化学机械抛光(CMP)设备。所述化学机械抛光设备(CMP)的调节器包括:调节部件,对抛光垫进行抛光;臂,使调节部件旋转;以及柔性连接器,使调节部件与臂连接,柔性连接器是可移动的以使调节部件关于臂相对移动。
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