发明授权
摘要：
提供了调节器和包括该调节器的化学机械抛光(CMP)设备。所述化学机械抛光设备(CMP)的调节器包括：调节部件，对抛光垫进行抛光；臂，使调节部件旋转；以及柔性连接器，使调节部件与臂连接，柔性连接器是可移动的以使调节部件关于臂相对移动。
公开/授权文献
- CN110605657A 调节器和包括该调节器的化学机械抛光设备 公开/授权日：2019-12-24
