一种承载LED晶圆片的陶瓷盘自动传送下蜡设备
摘要:
本发明公开了一种承载LED晶圆片的陶瓷盘自动传送下蜡设备,包括陶瓷盘卡塞上料机构、陶瓷盘搬运机构、陶瓷盘加热机构、陶瓷盘冷却机构、机台;其中:机台上表面左右两端均安装有陶瓷盘卡塞上料机构,机台上表面上下两端均安装有陶瓷盘加热机构、陶瓷盘冷却机构,机台上表面中部安装有陶瓷盘搬运机构。本发明的优点在于:利用陶瓷盘搬运机构中的水平移载模组,旋转模组和竖直移载模组搭配起来实现陶瓷盘取放,利用加热及冷却机构中的顶升模组实现与搬运机构的衔接,通过以上两个机构配合工作,实现陶瓷盘的自动传送目的;另外增加冷却机构,通过工艺冷却水系统中的冷却水在冷却盘中的流动加快热传递,提高生产效率,实现生产的自动化。
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