- 专利标题: 用于将结构化的层沉积在衬底上的装置和用于设置该装置的方法
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申请号: CN201880031347.9申请日: 2018-03-12
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公开(公告)号: CN110621802B公开(公告)日: 2023-01-24
- 发明人: J.奥德斯 , M.雅各布 , W.詹森 , V.莱昂特杰夫斯
- 申请人: 艾克斯特朗欧洲公司
- 申请人地址: 德国黑措根拉特
- 专利权人: 艾克斯特朗欧洲公司
- 当前专利权人: 艾克斯特朗欧洲公司
- 当前专利权人地址: 德国黑措根拉特
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 任丽荣
- 优先权: 102017105374.3 20170314 DE
- 国际申请: PCT/EP2018/056033 2018.03.12
- 国际公布: WO2018/166953 DE 2018.09.20
- 进入国家日期: 2019-11-12
- 主分类号: C23C14/04
- IPC分类号: C23C14/04 ; C23C16/04
摘要:
本发明涉及一种用于将通过敷设掩膜(4)而结构化的层沉积在衬底(13)上的装置,其具有校准机构(100、200),该校准机构用于校准掩膜载体(6)相对于承载框(7)的位置。所述校准机构(100、200)具有校准杆(101、201),所述校准杆可围绕旋转轴承的旋转轴线(107、207)转动地支承在承载框(7)上并且具有第一臂(102、202)和第二臂(103、203),其中,所述第二臂(103、203)嵌接在掩膜载体(6)上,并且在所述第一臂(102、202)上嵌接有能由促动器(121、221)竖直移位的控制杆(108、208)。在竖直校准机构(100)中,所述第二臂(103)和所述第一臂(102)沿水平方向延伸,其中,所述第二臂(103)嵌接在与掩膜载体(6)连接的挺杆(110)上。在水平校准机构(200)中,所述第二臂(203)沿竖直方向延伸并且所述第一臂(202)沿水平方向延伸,其中,所述第二臂(203)利用铰接在第二臂上的导杆(210)与掩膜载体(6)连接。
公开/授权文献
- CN110621802A 用于将结构化的层沉积在衬底上的装置和用于设置该装置的方法 公开/授权日:2019-12-27
IPC分类: