发明授权
- 专利标题: 一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机
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申请号: CN201910988844.4申请日: 2019-10-17
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公开(公告)号: CN110629172B公开(公告)日: 2022-02-01
- 发明人: 黄海山
- 申请人: 深圳市瑞利泰德精密涂层有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市宝安区沙井街道沙三上下围工业区第16栋三楼
- 专利权人: 深圳市瑞利泰德精密涂层有限公司
- 当前专利权人: 深圳市瑞利泰德精密涂层有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市宝安区沙井街道沙三上下围工业区第16栋三楼
- 代理机构: 深圳市中科创为专利代理有限公司
- 代理商 杨春
- 主分类号: C23C14/34
- IPC分类号: C23C14/34 ; C23C14/56
摘要:
本发明公开了一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,其结构包括底座、真空机、输送装置、密封装置、镀膜箱、阴极、靶、阳极、氩离子机,镀膜箱底部与底座相连接,真空机、氩离子机设在底座上并分别与镀膜箱底部相连通,镀膜箱内部的上下两端分别设有阴极、阳极,阴极底部连接有靶,输送装置顶部横穿镀膜箱,镀膜箱的两端分别安装有密封装置,密封装置与输送装置相配合,输送装置包括输送轮、输送带、重力轮、导杆、支架,本发明的有益效果是:通过密封装置的开关与输送带配合能够对镀膜箱进行密封,通过输送带能够使工件持续进行输送,比起取件加放件叠加的动作,能够减少停工的时间,提高那个工作效率。
公开/授权文献
- CN110629172A 一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机 公开/授权日:2019-12-31
IPC分类: