一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机

    公开(公告)号:CN110629172B

    公开(公告)日:2022-02-01

    申请号:CN201910988844.4

    申请日:2019-10-17

    发明人: 黄海山

    IPC分类号: C23C14/34 C23C14/56

    摘要: 本发明公开了一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机,其结构包括底座、真空机、输送装置、密封装置、镀膜箱、阴极、靶、阳极、氩离子机,镀膜箱底部与底座相连接,真空机、氩离子机设在底座上并分别与镀膜箱底部相连通,镀膜箱内部的上下两端分别设有阴极、阳极,阴极底部连接有靶,输送装置顶部横穿镀膜箱,镀膜箱的两端分别安装有密封装置,密封装置与输送装置相配合,输送装置包括输送轮、输送带、重力轮、导杆、支架,本发明的有益效果是:通过密封装置的开关与输送带配合能够对镀膜箱进行密封,通过输送带能够使工件持续进行输送,比起取件加放件叠加的动作,能够减少停工的时间,提高那个工作效率。