发明授权
- 专利标题: 致动器、线性马达和光刻设备
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申请号: CN201880033200.3申请日: 2018-05-03
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公开(公告)号: CN110637410B公开(公告)日: 2021-11-16
- 发明人: N·C·P·J·海尔茨 , F·斯坦德霍德尔斯 , E·G·B·霍夫斯泰
- 申请人: ASML荷兰有限公司
- 申请人地址: 荷兰维德霍温
- 专利权人: ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人: ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人地址: 荷兰维德霍温
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 张启程
- 优先权: 17173011.2 20170526 EP
- 国际申请: PCT/EP2018/061265 2018.05.03
- 国际公布: WO2018/215183 EN 2018.11.29
- 进入国家日期: 2019-11-19
- 主分类号: H02K41/00
- IPC分类号: H02K41/00 ; H02K9/22
摘要:
一种致动器,包括线圈、第一冷却板和第二冷却板。所述冷却板被配置为冷却所述线圈。第一冷却板和第二冷却板被布置在线圈的相对侧以与线圈热接触。所述线圈包括第一线圈部分和第二线圈部分,所述第一线圈部分面向所述第一冷却板,所述第二线圈部分面向所述第二冷却板,所述第一线圈部分和所述第二线圈部分被它们之间的间隔分开。所述第一冷却板、所述第一线圈部分、所述间隔、所述第二线圈部分和所述第二冷却板形成叠置结构,其中线圈部分被布置在冷却板之间,并且所述间隔被布置在所述线圈部分之间。所述致动器还包括布置在间隔中的填充元件。填充元件将第一线圈部分推向第一冷却板并且将第二线圈部分推向第二冷却板。
公开/授权文献
- CN110637410A 致动器、线性马达和光刻设备 公开/授权日:2019-12-31