公开(公告)号：CN110637410B

公开(公告)日：2021-11-16

申请号：CN201880033200.3

申请日：2018-05-03

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： N·C·P·J·海尔茨 ,  F·斯坦德霍德尔斯 ,  E·G·B·霍夫斯泰

IPC分类号： H02K41/00 ,  H02K9/22

摘要： 一种致动器，包括线圈、第一冷却板和第二冷却板。所述冷却板被配置为冷却所述线圈。第一冷却板和第二冷却板被布置在线圈的相对侧以与线圈热接触。所述线圈包括第一线圈部分和第二线圈部分，所述第一线圈部分面向所述第一冷却板，所述第二线圈部分面向所述第二冷却板，所述第一线圈部分和所述第二线圈部分被它们之间的间隔分开。所述第一冷却板、所述第一线圈部分、所述间隔、所述第二线圈部分和所述第二冷却板形成叠置结构，其中线圈部分被布置在冷却板之间，并且所述间隔被布置在所述线圈部分之间。所述致动器还包括布置在间隔中的填充元件。填充元件将第一线圈部分推向第一冷却板并且将第二线圈部分推向第二冷却板。

公开(公告)号：CN110637410A

公开(公告)日：2019-12-31

申请号：CN201880033200.3

申请日：2018-05-03

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： N·C·P·J·海尔茨 ,  F·斯坦德霍德尔斯 ,  E·G·B·霍夫斯泰

IPC分类号： H02K41/00 ,  H02K9/22

摘要： 一种致动器，包括线圈、第一冷却板和第二冷却板。所述冷却板被配置为冷却所述线圈。第一冷却板和第二冷却板被布置在线圈的相对侧以与线圈热接触。所述线圈包括第一线圈部分和第二线圈部分，所述第一线圈部分面向所述第一冷却板，所述第二线圈部分面向所述第二冷却板，所述第一线圈部分和所述第二线圈部分被它们之间的间隔分开。所述第一冷却板、所述第一线圈部分、所述间隔、所述第二线圈部分和所述第二冷却板形成叠置结构，其中线圈部分被布置在冷却板之间，并且所述间隔被布置在所述线圈部分之间。所述致动器还包括布置在间隔中的填充元件。填充元件将第一线圈部分推向第一冷却板并且将第二线圈部分推向第二冷却板。