- 专利标题: 一种与硬质合金结合牢固的氮化锆铝/氧化铝复合涂层及其制备方法
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申请号: CN201910974708.X申请日: 2019-10-14
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公开(公告)号: CN110656313B公开(公告)日: 2021-04-30
- 发明人: 鲜广 , 鲜丽君 , 赵海波
- 申请人: 四川大学
- 申请人地址: 四川省成都市双流区川大路二段2号
- 专利权人: 四川大学
- 当前专利权人: 四川大学
- 当前专利权人地址: 四川省成都市双流区川大路二段2号
- 主分类号: C23C14/32
- IPC分类号: C23C14/32 ; C23C14/35 ; C23C14/02 ; C23C14/16 ; C23C14/08 ; C23C14/06 ; C22C30/00
摘要:
本发明公布的与硬质合金结合牢固的氮化锆铝/氧化铝复合涂层是由CoNiCrAlY高熵合金粘结层、α‑Cr2O3氧化物模板层、α‑Al2O3氧化物支撑层、AlZrON氮氧化物衔接层、AlZrN氮化物耐磨层五个子层构成的整体,这五个子层的顺序是由内至外,涂层总厚度为1~2.5μm。其制备方法为:硬质合金基底被加热和离子刻蚀后,先利用电弧蒸发镀工艺在基底上沉积CoNiCrAlY层;然后使用磁控溅射工艺,再继续依次沉积α‑Cr2O3层、α‑Al2O3层、AlZrON层和AlZrN层。高熵合金粘结层的采用及不同功能子层的配合,使得涂层与硬质合金基底之间结合牢固,且涂层综合性能优良,工艺简单,易于实施。
公开/授权文献
- CN110656313A 一种与硬质合金结合牢固的氮化锆铝/氧化铝复合涂层及其制备方法 公开/授权日:2020-01-07