一种与硬质合金结合牢固的氮化锆铝/氧化铝复合涂层及其制备方法
摘要:
本发明公布的与硬质合金结合牢固的氮化锆铝/氧化铝复合涂层是由CoNiCrAlY高熵合金粘结层、α‑Cr2O3氧化物模板层、α‑Al2O3氧化物支撑层、AlZrON氮氧化物衔接层、AlZrN氮化物耐磨层五个子层构成的整体,这五个子层的顺序是由内至外,涂层总厚度为1~2.5μm。其制备方法为:硬质合金基底被加热和离子刻蚀后,先利用电弧蒸发镀工艺在基底上沉积CoNiCrAlY层;然后使用磁控溅射工艺,再继续依次沉积α‑Cr2O3层、α‑Al2O3层、AlZrON层和AlZrN层。高熵合金粘结层的采用及不同功能子层的配合,使得涂层与硬质合金基底之间结合牢固,且涂层综合性能优良,工艺简单,易于实施。
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