• Patent Title: 一种超细原子力显微镜金属探针的制备方法和装置
  • Patent Title (English): Method and device for preparing superfine atomic force microscope metal probe
  • Application No.: CN201910870484.8
    Application Date: 2019-09-16
  • Publication No.: CN110658360A
    Publication Date: 2020-01-07
  • Inventor: 王江伟赵治宇韦华
  • Applicant: 浙江大学
  • Applicant Address: 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
  • Assignee: 浙江大学
  • Current Assignee: 浙江大学
  • Current Assignee Address: 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
  • Agency: 杭州求是专利事务所有限公司
  • Agent 林超
  • Main IPC: G01Q60/40
  • IPC: G01Q60/40
一种超细原子力显微镜金属探针的制备方法和装置
Abstract:
本发明公开了一种超细原子力显微镜金属探针的制备方法和装置。分别制备同质金属断口端和金属针尖,金属断口端置于电学-力学样品杆固定端,金属针尖装载于可移动端,两端相向布置不接触。在透射电子显微镜内,通过压电陶瓷驱动将金属针尖向断口样品对齐并靠近;在临界接触点对两端施加恒定偏压,利用电致原子迁移效应实现超细原子力显微镜金属探针的制备。本发明中的原子力显微镜金属探针制备方法成功率较高,成品生长方向和长度可控、尖端直径小于5nm,稳定性与导电性良好。
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