柔性晶体管的制备方法
Abstract:
本发明适用于半导体晶体管制备技术领域,提供了一种柔性晶体管的制备方法,包括:将获取的六方氮化硼h-BN薄膜转移至预设衬底表面;在所述h-BN薄膜上制作导电沟道、源漏电极、栅介质层以及栅电极,获得晶体管样品;在所述晶体管样品上旋涂柔性衬底溶液并经过干燥处理,获得在所述晶体管样品上形成的柔性膜;将所述晶体管样品与所述柔性膜从所述预设衬底上剥离,获得柔性晶体管。本发明中的柔性晶体管的制备方法,避免了直接在柔性衬底上制备晶体管具有对准偏差且性能退化的问题,同时采用柔性膜包覆晶体管样品,解决了柔性晶体管在弯折过程中电极易脱落的问题。
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