发明公开
- 专利标题: 具有减小的应力敏感度的磁阻传感器
- 专利标题(英): MAGNETORESISTIVE SENSOR WITH REDUCED STRESS SENSITIVITY
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申请号: CN201910602979.2申请日: 2019-07-05
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公开(公告)号: CN110690343A公开(公告)日: 2020-01-14
- 发明人: J·齐默 , K·普鲁格尔
- 申请人: 英飞凌科技股份有限公司
- 申请人地址: 德国诺伊比贝尔格
- 专利权人: 英飞凌科技股份有限公司
- 当前专利权人: 英飞凌科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 德国诺伊比贝尔格
- 代理机构: 北京市金杜律师事务所
- 代理商 郑立柱; 张昊
- 优先权: 16/028,738 2018.07.06 US
- 主分类号: H01L43/08
- IPC分类号: H01L43/08 ; H01L43/10 ; G01D5/12
摘要:
本公开涉及具有减小的应力敏感度的磁阻传感器。例如,一种磁阻传感器,包括第一非磁性层、第二非磁性层和磁性自由双层。磁性自由双层设置在第一非磁性层和第二非磁性层之间,磁性自由双层包括耦合至第二磁性自由层的第二磁性自由层。第一磁性自由层耦合至第一非磁性层,并且第二磁性自由层耦合至第二非磁性层。第二非磁性层包括非磁性材料,其原子半径在第一磁性自由层和第二磁性自由层中的至少一个的原子半径的10%以内。
公开/授权文献
- CN110690343B 具有减小的应力敏感度的磁阻传感器 公开/授权日:2023-06-02
IPC分类: