本发明公开了一种复合多层耐蚀薄膜及其应用。从下至上包括金属粘附层、金属抗蚀层、导电陶瓷非晶层、导电陶瓷结晶层、碳覆盖层；金属粘附层和金属抗蚀层的成分不完全相同。本发明为有效地结合金属导电性良好和导电陶瓷耐蚀持久性更好的优点，引入了耐蚀金属和导电陶瓷的两种材料。为达到这种复合效果，还引入金属粘附层实现了耐蚀金属的镀膜生长，通过引入导电陶瓷非晶层提高了其上一层的导电陶瓷结晶层的结晶性，通过碳覆盖层掩埋了多晶陶瓷的晶界间隙，实现了良好致密性，由此构造了兼顾导电性和抗蚀性能的多层薄膜结构，应用范围广泛，对质子交换膜燃料电池的研究和发展有着积极的促进意义。