本发明公开了一种用于等离子体装置的样品台，包括样品座，样品座上开设有多个样品材料放置腔，样品座一侧开设有用于将其推入真空室的样品座推送装置，所述样品座包括基板，基板顶面中心嵌设有下绝缘件，下绝缘件顶面呈外圆弧状，两端对称设有互为间隔的上绝缘件，样品材料放置腔由下绝缘件与两个上绝缘件之间所形成的空间而构成，上绝缘件朝向样品材料放置腔的端面呈内圆弧状。本发明利用样品材料本身的预应力不同直接影响着离子入射能量的原理，通过利用夹持其的绝缘件等结构，能够有效的控制样品材料预应力的变化，从而达到了控制离子入射能量的效果。