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公开(公告)号：CN117976497B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202311809184.1
申请日：2023-12-26
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
发明人： 杨聚星
摘要： 本发明公开了一种扫描电镜样品室及其快速放气方法，属于扫描电镜技术领域，包括：样品室，其上仅设有一个供外部气体进入样品室内的放气孔；放气阀与放气孔密封连接，用于控制放气孔与外部气体连通或断开；控制器与放气阀电连接，用于通过周期性脉冲信号控制放气阀周期性的开启或关闭放气孔。如此设计，与传统扫描电镜样品室配置两个真空放气阀及两个孔径大小不同放气孔的扫描电镜样品室相比，在以同样短的时间完成样品室放气破空并保证分子泵安全停机的前提下，可以节省一路真空放气阀及放气孔，有利于减少扫描电镜的体积，节省空间，节省物料和成本，实现扫描电镜的小型化设计。
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公开(公告)号：CN118622988A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202310240153.2
申请日：2023-03-10
申请人： 中微半导体设备(上海)股份有限公司
摘要： 本发明提供一种密封结构及半导体处理装置。所述密封结构用于对半导体处理装置中反应腔室进行密封，包括：第一密封结构和第二密封结构，所述第一密封结构设置于所述第二密封结构的内侧；所述第一密封结构包括第一密封件，所述第一密封件采用全氟醚橡胶制成；所述第二密封结构包括第二密封件，所述第二密封件采用非全氟醚橡胶制成。本发明的目的在于提供一种稳定的真空密封结构，提高密封效果。
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公开(公告)号：CN118486574A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410167293.6
申请日：2024-02-06
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 本发明提供一种抑制绝缘构造体中的放电的绝缘构造体、静电透镜以及带电粒子线装置，绝缘构造体在带电粒子线装置用的真空中使用，其具备阳极、与所述阳极相对的阴极以及配置于所述阳极与所述阴极之间的绝缘体，所述绝缘体具有：绝缘体平坦面；以及从所述绝缘体平坦面突出的绝缘体凸部，所述阴极具有：阴极平坦面；以及从所述阴极平坦面凹陷且与所述绝缘体凸部嵌合的阴极凹部，所述绝缘体平坦面与所述阴极平坦面不接触，所述绝缘体凸部的外表面与所述阴极凹部的内表面不接触。
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公开(公告)号：CN118361542A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410251342.4
申请日：2024-03-05
申请人： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
摘要： 本发明属于电子束扫描设备在半导体的应用技术领域，尤其涉及一种电子束扫描设备及其密封阀门装置；密封阀门装置，应用于电子束扫描设备，密封阀门装置包括调节组件以及阀门组件，调节组件包括调节机构和推杆，推杆连接阀门组件；其中，阀门组件包括密封部、及沿推杆的轴向连接于密封部一侧的连通部，调节机构使得推杆至少能够沿轴向伸缩，以切换密封部或连通部的任一者连接电子束扫描设备的电子束传输通道，以密封或者开启电子束传输通道；确保在维护保养期间确保和真空腔室相关的元器件其性能的稳定，避免元件受损或者失效，延长设备使用寿命，且在重新投入使用后无需重新抽真空，减少操作时间，提高工作效率。
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公开(公告)号：CN116897408B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202280015412.5
申请日：2022-01-17
申请人： ICT半导体集成电路测试有限公司
发明人： P·阿达麦茨
摘要： 描述了一种带电粒子束设备(100)。带电粒子束设备包括：第一真空区域(121)，其中布置有用于沿光轴(A)发射带电粒子束(102)的带电粒子束发射器(105)；第二真空区域(122)，第二真空区域在第一真空区域下游并且通过具有第一差分泵送孔(131)的第一气体分隔壁(132)与第一真空区域隔开，其中第一差分泵送孔(131)被配置为用于带电粒子束(102)的第一射束限制孔；以及第三真空区域(123)，第三真空区域在第二真空区域下游并且通过具有第二差分泵送孔(133)的第二气体分隔壁(134)与第二真空区域隔开，其中第二差分泵送孔(133)被配置为用于带电粒子束(102)的第二射束限制孔。进一步描述的是扫描电子显微镜和操作带电粒子束设备的方法。
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公开(公告)号：CN117976497A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202311809184.1
申请日：2023-12-26
申请人： 北京中科科仪股份有限公司
发明人： 杨聚星
摘要： 本发明公开了一种扫描电镜样品室及其快速放气方法，属于扫描电镜技术领域，包括：样品室，其上仅设有一个供外部气体进入样品室内的放气孔；放气阀与放气孔密封连接，用于控制放气孔与外部气体连通或断开；控制器与放气阀电连接，用于通过周期性脉冲信号控制放气阀周期性的开启或关闭放气孔。如此设计，与传统扫描电镜样品室配置两个真空放气阀及两个孔径大小不同放气孔的扫描电镜样品室相比，在以同样短的时间完成样品室放气破空并保证分子泵安全停机的前提下，可以节省一路真空放气阀及放气孔，有利于减少扫描电镜的体积，节省空间，节省物料和成本，实现扫描电镜的小型化设计。
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公开(公告)号：CN117711893A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202311386557.9
申请日：2023-10-24
申请人： 上海科技大学
发明人： 王竹君
摘要： 本发明提供一种电子显微镜气体差分装置、透射电子显微镜和扫描电子显微镜，涉及电子显微镜成像技术领域。电子显微镜气体差分装置包括由上至下依次设置的上极靴和样品腔，上极靴中依次设有第一电子腔和第一中空通道，第一电子腔上端设有电子枪，第一电子腔与第一中空通道连通，第一中空通道与样品腔连通，样品腔中设有样品杆，样品放置于样品杆上，第一中空通道中设有第一特斯拉阀，且第一特斯拉阀分别与第一电子腔和样品腔连通。第一特斯拉阀两侧外接抽气设备；沿电子束入射方向，第一特斯拉阀正向设置于第一中空通道中。通过上述设置，本发明可以在样品腔处于高气氛环境下时，维持电子枪的正常工作，并有足够多的电子能够打击到样品表面。
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公开(公告)号：CN116631846A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310396278.4
申请日：2023-04-14
申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
摘要： 本公开提供了一种半导体材料表面钝化方法及真空系统，半导体材料表面钝化方法包括：在真空环境中，对半导体材料表面施加原子氢，以对半导体材料表面进行还原；对被还原的半导体材料表面进行氧化。真空处理系统包括：真空腔，用于容纳样品，样品具有半导体材料表面；氢源，用于向半导体材料表面发射原子氢，以对半导体材料表面进行还原；氧源，用于对被氧化还原的半导体材料表面进行氧化。
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公开(公告)号：CN116564778A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202211711029.1
申请日：2022-12-29
申请人： 宣城开盛新能源科技有限公司
摘要： 本发明属于真空设备技术领域的多等级真空腔室结构。腔室主体(6)内设置NIP密封(1)、roller密封(2)、弧形体(3)、腔室门(4)、tunnel密封(5)，腔室主体(6)一侧设置NIP密封(1)，腔室主体(6)内按间隙设置多道roller密封(2)和多道tunnel密封(5)，NIP密封(1)和roller密封(2)设置一组弧形体(3)，相邻roller密封(2)之间设置一组弧形体(3)，每道tunnel密封(5)安装在一组弧形体(3)上。本发明所述的多等级真空腔室结构，能够根据要求实现从大气压到指定级别以上真空跳跃，使得每一个腔室保持一个真空等级，实现维持真空等级跳跃过程中不会中断正常生产。
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公开(公告)号：CN116469742A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202210026128.X
申请日：2022-01-11
申请人： 江苏鲁汶仪器有限公司
IPC分类号： H01J37/18
摘要： 本发明公开了一种用于半导体真空设备的防护窗及半导体真空设备，半导体真空设备包括：真空腔体，真空腔体上设有抽气口；分子泵，分子泵安装在抽气口处用于抽出真空腔室内的气流；开关阀，开关阀设在分子泵和抽气口之间以打开或者关闭抽气口；防护窗，防护窗设在抽气口处且位于开关阀的朝向真空腔体的一侧，防护窗包括边框和多个叶片，边框的形状和抽气口的形状一致，多个叶片以边框中心为中心沿径向向外均匀间隔开布置，在垂直于防护窗所在平面的轴向截面上每个叶片的两个边呈预定角度α，在径向上相邻的两个叶片之间设有与预定角度相对应的预定重叠区a。根据本发明的实施例的防护窗，可以保证抽气速度，防止刻蚀产物或溅射物进入分子泵内。
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