光学准直器及其制作方法
摘要:
本申请实施例涉及光学准直器及其制作方法。该光学准直器包括2N-1个子准直器,N>1的正整数,其中,第一金属层上设置有准直孔,形成第一个子准直器;位于该第一金属层上方的第二金属层上设置有准直孔,形成第三个子准直器;第i-1金属层与第i金属层之间为第i-1通孔层,该第i-1通孔层中设置有第i-1通孔,填充金属的该第i-1通孔用于连接该第i-1金属层与该第i金属层,该第i-1通孔层为第2i-2个子准直器,i依次取2,3,……N;位于该第i-1金属层上方的该第i金属层上设置有准直孔,形成该2N-1个子准直器中的第2i-1个子准直器。本申请实施例的光学准直器及其制作方法,能够提高其对光的空间过滤能力。
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