存储器件及其形成方法
摘要:
公开了一种存储器件及其形成方法,本发明实施例的技术方案通过使得存储单元中的碳纳米管堆叠结构中的大部分碳纳米管的以基本一致的方式堆积,进而使得存储器件的置位/复位电压或电流受控,从而提高了存储器件的性能。同时,本发明实施例的形成方法与现有的半导体工艺兼容,易于实施。
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