发明公开
- 专利标题： 退火组件及退火方法
- 专利标题（英）： Annealing component and annealing method
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申请号： CN201911145344.0申请日： 2019-11-19
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公开(公告)号： CN110828365A公开(公告)日： 2020-02-21
- 发明人: 焦倩倩 , 吴昊 , 李玲 , 赛朝阳 , 杨霏 , 潘艳
- 申请人： 全球能源互联网研究院有限公司
- 申请人地址： 北京市昌平区未来科技城滨河大道18号
- 专利权人： 全球能源互联网研究院有限公司
- 当前专利权人： 全球能源互联网研究院有限公司,国网山东省电力公司德州供电公司国家电网有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市昌平区未来科技城滨河大道18号
- 代理机构： 北京三聚阳光知识产权代理有限公司
- 代理商 张琳琳
- 主分类号： H01L21/687
- IPC分类号： H01L21/687 ; H01L21/67 ; H01L21/04 ; H01L21/324
摘要：
本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种退火组件及退火方法。其中，所述组件包括：承载面，用于放置所述待退火件；其中，所述承载面在所述待退火件上的投影面积与待退火件的面积相同；至少一个支架，用于固定所述承载面。该组件可以增强退火的均匀性，并且只需一次退火便可，避免了复杂的退火流程，从而提升了工艺效率，同时也避免了传统托盘由于温差导致的碎裂现象。