Invention Publication

半导体器件及其制造方法
Abstract:
一种有源矩阵和液晶显示器,其外围电路部分中配置有迁移率高能容许大量导通状态电流流过的TFT,其像素部分中配置有截止状态电流小的TFT。这些性能不同的TFT是采用晶体生长方向平行于衬底的晶体硅薄膜构成的。就是说,令晶体生长方向与载流子流动方向之间形成的角度彼此不同,从而控制载流子流动时受到的阻力进而确定TFT的性能。
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