发明公开
- 专利标题: 带有自调平及锁定功能的芯片基板大压力倒装键合调平台
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申请号: CN201911313399.8申请日: 2019-12-19
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公开(公告)号: CN110890301A公开(公告)日: 2020-03-17
- 发明人: 张志耀 , 田芳 , 韦杰 , 郝鹏飞 , 张燕 , 李伟 , 孙丽娜 , 李俊杰
- 申请人: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
- 申请人地址: 山西省太原市万柏林区和平南路115号
- 专利权人: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
- 当前专利权人: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
- 当前专利权人地址: 山西省太原市万柏林区和平南路115号
- 代理机构: 山西华炬律师事务所
- 代理商 陈奇
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67
摘要:
本发明公开了一种带有自调平及锁定功能的芯片基板大压力倒装键合调平台,解决了如何使上压板治具、下压板治具、已完成预焊的芯片基板三者之间很好地完成找正贴合的问题。在圆柱状调平台基座(201)的顶面上设置有半球形凹槽(202)和 半球形浮动调平台(203),正压力压缩空气进气嘴(205)和负压真空吸嘴(206)均与半球形凹槽(202)连通,在半球形浮动调平台(203)的顶端外圆上等间隔120度向外悬挑有初定位悬臂框架(207),在初定位悬臂框架(207)内沿半球形浮动调平台的顶圆的径向设置有配重丝杠(210),在配重丝杠(210)上螺接有配重丝母(211)。保证了自适应调平的效果。
公开/授权文献
- CN110890301B 带有自调平及锁定功能的芯片基板大压力倒装键合调平台 公开/授权日:2024-06-04
IPC分类: