- 专利标题: 一种基于双MOS栅控的N型碳化硅晶闸管及其制备方法
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申请号: CN201911066932.5申请日: 2019-11-04
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公开(公告)号: CN110896102A公开(公告)日: 2020-03-20
- 发明人: 元磊 , 杨柳 , 汤晓燕 , 宋庆文 , 张艺蒙 , 张玉明 , 张义门
- 申请人: 西安电子科技大学
- 申请人地址: 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
- 专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
- 代理机构: 西安嘉思特知识产权代理事务所
- 代理商 李园园
- 主分类号: H01L29/423
- IPC分类号: H01L29/423 ; H01L29/745 ; H01L29/749 ; H01L21/28 ; H01L21/04 ; H01L21/332
摘要:
本发明公开了一种基于双MOS栅控的N型碳化硅晶闸管,包括:钝化层(1)、阳极接触金属(2)、关断栅极接触金属(3)、开启栅极接触金属(4)、栅氧化层(5)、P+短路区(6)、N+阳极区(7)、P-漂移区(8)、N-漂移区(9)、缓冲层(10)、衬底(11)以及阴极接触金属(12)。本发明通过引入双MOS栅结构,将器件的驱动控制从传统的电流型转变为电压型,有利于前端控制电路的设计、实现以及功耗的降低;且开启栅和关断栅独立工作,分别控制器件的开启和关断,有利于器件在开关或脉冲工作状态下的快速导通和关断,可以显著提高器件的工作频率。
公开/授权文献
- CN110896102B 一种基于双MOS栅控的N型碳化硅晶闸管及其制备方法 公开/授权日:2021-03-30
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