Invention Grant
- Patent Title: 用于利用支撑结构形成三维存储器件的方法和产生的三维存储器件
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Application No.: CN201980001849.1Application Date: 2019-08-23
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Publication No.: CN110896673BPublication Date: 2021-02-19
- Inventor: 霍宗亮 , 杨号号 , 徐伟 , 严萍 , 黄攀 , 周文斌
- Applicant: 长江存储科技有限责任公司
- Applicant Address: 湖北省武汉市东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- Assignee: 长江存储科技有限责任公司
- Current Assignee: 长江存储科技有限责任公司
- Current Assignee Address: 湖北省武汉市东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- Agency: 北京永新同创知识产权代理有限公司
- Agent 张殿慧; 刘健
- Priority: 201910522873.1 2019.06.17 CN
- International Application: PCT/CN2019/102113 2019.08.23
- Date entered country: 2019-09-29
- Main IPC: H01L27/11578
- IPC: H01L27/11578 ; H01L27/11582 ; H01L27/11568
Abstract:
提供了用于形成三维(3D)存储器件的结构和方法的实施例。在一个示例中,3D存储器件包括存储堆叠层、多个沟道结构、缝隙结构和源极结构。所述存储堆叠层可以是位于衬底上的,并且可以包括在横向上在所述存储堆叠层中延伸的交织的多个导体层和多个绝缘层。所述多个沟道结构可以在纵向上贯穿所述存储堆叠层延伸到所述衬底中。所述缝隙结构可以在纵向和横向上在所述存储堆叠层中延伸,并且将所述多个存储单元划分成至少一个存储块。所述缝隙结构可以包括沿所述缝隙结构的侧壁在纵向上布置的多个凸出部分和多个凹陷部分。
Public/Granted literature
- CN110896673A 用于利用支撑结构形成三维存储器件的方法和产生的三维存储器件 Public/Granted day:2020-03-20
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