发明公开
- 专利标题: 一种振动非敏感硅微机电陀螺
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申请号: CN201911313234.0申请日: 2019-12-19
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公开(公告)号: CN110926444A公开(公告)日: 2020-03-27
- 发明人: 徐杰 , 刘福民 , 李兆涵 , 高乃坤 , 赵亭杰 , 王建鹏 , 刘国文 , 杨静 , 张乐民
- 申请人: 北京航天控制仪器研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区北京142信箱403分箱
- 专利权人: 北京航天控制仪器研究所
- 当前专利权人: 北京航天控制仪器研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区北京142信箱403分箱
- 代理机构: 中国航天科技专利中心
- 代理商 马全亮
- 主分类号: G01C19/5621
- IPC分类号: G01C19/5621 ; G01C19/5614 ; G01C19/5628
摘要:
一种振动非敏感硅微机电陀螺,包括四质量音叉微结构、控制电路、封装壳体和减振器组件;四质量音叉微结构是基于SOG工艺加工的双自由度运动的微结构,四个质量块在受力情况下沿平面内X和Y方向运动;控制电路由C/V变换电路、驱动轴自激回路、检测轴力平衡回路、MCU控制电路等组成;封装壳体将微结构和控制电路板封装在一起,并通过壳体四个安装孔形成外部机械接口;减振器组件是电路板与封装壳体之间的连接机构。本发明是一种高精度振动非敏感硅微机电陀螺,测量精度高、抗振动冲击,可广泛应用于制导炸弹、便携防空导弹、智能炮弹、无人机、导航设备等系统,用于测量载体绕固定轴相对惯性空间的的旋转角速率。
公开/授权文献
- CN110926444B 一种振动非敏感硅微机电陀螺 公开/授权日:2021-12-07
IPC分类: