一种振动非敏感硅微机电陀螺
摘要:
一种振动非敏感硅微机电陀螺,包括四质量音叉微结构、控制电路、封装壳体和减振器组件;四质量音叉微结构是基于SOG工艺加工的双自由度运动的微结构,四个质量块在受力情况下沿平面内X和Y方向运动;控制电路由C/V变换电路、驱动轴自激回路、检测轴力平衡回路、MCU控制电路等组成;封装壳体将微结构和控制电路板封装在一起,并通过壳体四个安装孔形成外部机械接口;减振器组件是电路板与封装壳体之间的连接机构。本发明是一种高精度振动非敏感硅微机电陀螺,测量精度高、抗振动冲击,可广泛应用于制导炸弹、便携防空导弹、智能炮弹、无人机、导航设备等系统,用于测量载体绕固定轴相对惯性空间的的旋转角速率。
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