裸石英振子的压电激励装置及品质因子的测试装置和方法
Abstract:
本发明涉及一种裸石英振子的压电激励装置及品质因子的测试装置和方法,改善石英谐振子激励方法,压电激励装置包括固定连接的激励头和激励头固定装置;激励头固定装置上设置有电气接口和压电材料,通过电气接口接收激励信号后,通过压电材料使激励头产生振动,激励头振动后带动待测石英振子振动。以保证谐振子在不同真空度下及金属化前有效激励,通过控制激励信号即可灵活调整振动的幅度和频率,可实现裸谐振子的大位移的初始激励,结构及实现过程简单并且可以进行定点激励。
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