Invention Grant
- Patent Title: 接合体及弹性波元件
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Application No.: CN201880047134.5Application Date: 2018-08-21
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Publication No.: CN110945786BPublication Date: 2021-02-19
- Inventor: 后藤万佐司 , 多井知义 , 箕浦舞
- Applicant: 日本碍子株式会社
- Applicant Address: 日本国爱知县
- Assignee: 日本碍子株式会社
- Current Assignee: 日本碍子株式会社
- Current Assignee Address: 日本国爱知县
- Agency: 北京旭知行专利代理事务所
- Agent 王轶; 郑雪娜
- Priority: 2017-162241 2017.08.25 JP
- International Application: PCT/JP2018/030855 2018.08.21
- International Announcement: WO2019/039475 JA 2019.02.28
- Date entered country: 2020-01-15
- Main IPC: H03H9/25
- IPC: H03H9/25 ; H01L41/09 ; H01L41/187 ; H01L41/31 ; H01L41/337
Abstract:
本发明的课题是提供能够在包含硅铝氧氮陶瓷的支撑基板上牢固地接合包含铌酸锂或钽酸锂的压电性材料层的微结构。本发明的解决手段是提供能够在包含硅铝氧氮陶瓷的支撑基板上牢固地接合包含铌酸锂或钽酸锂的压电性材料层的微结构。接合体具备支撑基板及压电性材料层。支撑基板包含硅铝氧氮陶瓷。压电性材料层的材质为LiAO3(A为选自由铌及钽构成的组中的一种以上元素)。接合体具备:沿着支撑基板与压电性材料层之间的界面而存在的界面层及在界面层与支撑基板之间所存在的支撑基板侧中间层。界面层及支撑基板侧中间层分别以选自由铌及钽构成的组中的一种以上元素、氮、氧、铝以及硅为主成分。
Public/Granted literature
- CN110945786A 接合体及弹性波元件 Public/Granted day:2020-03-31
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