一种改善半导体激光阵列光谱半宽的微通道热沉
摘要:
本发明公开了一种改善半导体激光阵列光谱半宽的微通道热沉,该微通道热沉包括:自下而上依次设置的底层、进出液层、隔离层、换热层和顶层;顶层表面用于安装半导体激光阵列,在半导体激光阵列安装区域的下方,换热层设置有横向分布的微通道阵列,微通道阵列从半导体激光阵列的后腔面向前腔面逐渐密集分布,微通道阵列的液体流向沿半导体激光阵列的慢轴方向,从微通道阵列的中间向两侧流动。本发明中微通道热沉的结构设计减少了微通道热沉的水阻,使得半导体激光阵列整体散热性能提高,并且使两侧与中间温度分布均匀,从而达到均匀散热的目的,进而降低半导体激光器的光谱半宽。
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