发明授权
- 专利标题： 蒸镀预加热方法及蒸镀预加热系统
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申请号： CN201911207449.4申请日： 2019-11-29
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公开(公告)号： CN110965027B公开(公告)日： 2022-05-17
- 发明人: 赵迪 , 辛小刚 , 朱修剑 , 王宝友 , 孙飞 , 王卫卫
- 申请人： 昆山国显光电有限公司
- 申请人地址： 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢
- 专利权人： 昆山国显光电有限公司
- 当前专利权人： 昆山国显光电有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢
- 主分类号： C23C14/24
- IPC分类号： C23C14/24 ; C23C14/12 ; H01L51/56
摘要：
本发明公开了一种蒸镀预加热方法及蒸镀预加热系统。蒸镀预加热方法包括：根据至少两种待加热的蒸镀材料的类别，确定各蒸镀材料的加热批次；按照所确定的加热批次，对各蒸镀材料进行预加热。本发明公开的蒸镀预加热方法通过对蒸镀材料分批次进行预加热，能够有效地对蒸镀腔室内的真空度进行管控，进而可以提高蒸镀质量，提高产品良率。
公开/授权文献
- CN110965027A 蒸镀预加热方法及蒸镀预加热系统 公开/授权日：2020-04-07
IPC分类:
