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公开(公告)号：CN110670044B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201911185418.3
申请日：2019-11-27
申请人： 昆山国显光电有限公司
摘要： 本发明公开了一种成膜厚度检测装置、检测方法以及蒸镀设备，成膜厚度检测装置包括：晶振片，位于蒸镀源的蒸发侧，并与蒸镀源间隔设置，晶振片能够将晶振片上的成膜厚度信息转化为振动频率信息；导向组件，包括容纳腔以及与容纳腔连通的导向通道，容纳腔容纳晶振片，导向通道具有朝向蒸镀源的导入口，蒸镀源的蒸发材料能够经由导入口在导向通道的导向下到达晶振片成膜，其中，导入口能够在晶振片与蒸镀源之间移动以使导向通道伸缩。本发明提供的成膜厚度检测装置能够准确的对晶振片上的成膜厚度进行检测。
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公开(公告)号：CN111850464A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010622914.7
申请日：2020-06-30
申请人： 昆山国显光电有限公司
摘要： 本申请提供一种背板，所述背板用于压合掩膜板组件，所述掩膜板组件包括层叠设置的玻璃基板以及掩膜板，所述背板用于覆盖于所述玻璃基板的表面以按压所述玻璃基板，使得所述玻璃基板以及掩膜板贴合；所述背板包括底板和凸起，所述凸起位于所述底板面向所述玻璃基板的一侧，所述凸起呈阵列排布，其中，所述凸起在所述掩膜板平面上的正投影完全落入所述掩膜板的范围内，且位于所述掩膜板边缘位置处的所述凸起的投影与所述掩模板边缘位置的距离大于或等于预设距离。以此改善掩膜板的框架内边缘周围对应的玻璃基板的形变，提高玻璃基板与掩膜板的贴合效果，进而提高产品良率。
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公开(公告)号：CN111850464B
公开(公告)日：2023-01-03
申请号：CN202010622914.7
申请日：2020-06-30
申请人： 昆山国显光电有限公司
摘要： 本申请提供一种背板，所述背板用于压合掩膜板组件，所述掩膜板组件包括层叠设置的玻璃基板以及掩膜板，所述背板用于覆盖于所述玻璃基板的表面以按压所述玻璃基板，使得所述玻璃基板以及掩膜板贴合；所述背板包括底板和凸起，所述凸起位于所述底板面向所述玻璃基板的一侧，所述凸起呈阵列排布，其中，所述凸起在所述掩膜板平面上的正投影完全落入所述掩膜板的范围内，且位于所述掩膜板边缘位置处的所述凸起的投影与所述掩模板边缘位置的距离大于或等于预设距离。以此改善掩膜板的框架内边缘周围对应的玻璃基板的形变，提高玻璃基板与掩膜板的贴合效果，进而提高产品良率。
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公开(公告)号：CN110965027B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN201911207449.4
申请日：2019-11-29
申请人： 昆山国显光电有限公司
摘要： 本发明公开了一种蒸镀预加热方法及蒸镀预加热系统。蒸镀预加热方法包括：根据至少两种待加热的蒸镀材料的类别，确定各蒸镀材料的加热批次；按照所确定的加热批次，对各蒸镀材料进行预加热。本发明公开的蒸镀预加热方法通过对蒸镀材料分批次进行预加热，能够有效地对蒸镀腔室内的真空度进行管控，进而可以提高蒸镀质量，提高产品良率。
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公开(公告)号：CN111809146A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010614323.5
申请日：2020-06-30
申请人： 昆山国显光电有限公司
摘要： 本发明提供一种掩膜片，包括蒸镀区和非蒸镀区，所述蒸镀区具有多个蒸镀开口；所述非蒸镀区与所述蒸镀区邻接设置，所述非蒸镀区划分有阻隔区与焊接区，所述阻隔区具有多个阻隔开口，且多个所述阻隔开口位于所述焊接区与所述蒸镀区之间。本发明实施例通过在蒸镀区和焊接区之间设置阻隔区，在阻隔区进一步设置多个阻隔开口，可以在焊接过程中，焊接点将大褶皱打散成多个小褶皱时，阻挡小褶皱向蒸镀区延伸，一定程度上缓解焊接过程中小褶皱向蒸镀区延伸对对位精度造成的影响，提升蒸镀效果。
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公开(公告)号：CN110965027A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201911207449.4
申请日：2019-11-29
申请人： 昆山国显光电有限公司
摘要： 本发明公开了一种蒸镀预加热方法及蒸镀预加热系统。蒸镀预加热方法包括：根据至少两种待加热的蒸镀材料的类别，确定各蒸镀材料的加热批次；按照所确定的加热批次，对各蒸镀材料进行预加热。本发明公开的蒸镀预加热方法通过对蒸镀材料分批次进行预加热，能够有效地对蒸镀腔室内的真空度进行管控，进而可以提高蒸镀质量，提高产品良率。
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公开(公告)号：CN110670044A
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201911185418.3
申请日：2019-11-27
申请人： 昆山国显光电有限公司
摘要： 本发明公开了一种成膜厚度检测装置、检测方法以及蒸镀设备，成膜厚度检测装置包括：晶振片，位于蒸镀源的蒸发侧，并与蒸镀源间隔设置，晶振片能够将晶振片上的成膜厚度信息转化为振动频率信息；导向组件，包括容纳腔以及与容纳腔连通的导向通道，容纳腔容纳晶振片，导向通道具有朝向蒸镀源的导入口，蒸镀源的蒸发材料能够经由导入口在导向通道的导向下到达晶振片成膜，其中，导入口能够在晶振片与蒸镀源之间移动以使导向通道伸缩。本发明提供的成膜厚度检测装置能够准确的对晶振片上的成膜厚度进行检测。
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公开(公告)号：CN211339668U
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201922386790.2
申请日：2019-12-26
申请人： 昆山国显光电有限公司
摘要： 本实用新型涉及一种夹持装置，用于夹持基板，所述夹持装置包括：夹板及调平机构，调平机构包括至少一个调节件，调节件被构造为可操作地作用于夹板，以向夹板施加促使其趋于平坦的作用力。上述夹持装置，由于调平机构的调节件可操作地作用于夹板，并向夹板施加促使其趋于平坦的作用力，则减小了夹板的变形，保证了夹板的平坦度，从而可以使基板与夹板的各处紧密贴合，保证了最终的蒸镀均匀性。
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公开(公告)号：CN208883976U
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201821616548.9
申请日：2018-09-30
申请人： 昆山国显光电有限公司
IPC分类号： C23C14/24
摘要： 本实用新型公开了一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括：蒸镀腔室；设置于所述蒸镀腔室内的至少一个腔室组件和与所述至少一个腔室组件分别连接的内衬；至少一个加热装置，设置于与所述至少一个腔室组件分别连接的内衬上，且位于所述内衬远离所述至少一个腔室组件的一侧，以独立控制每一内衬的加热温度和加热时间。本实用新型可以采用至少一个加热装置分别独立控制对应内衬的加热温度和加热时间，使得蒸镀腔室内的内衬上的水气大大减少，有利于减少镀膜材料性能改变，确保了镀膜材料在蒸镀时的良好性状，提高了蒸镀产品的效率和品质。
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公开(公告)号：CN204640106U
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201520321052.9
申请日：2015-05-18
申请人： 昆山国显光电有限公司
发明人： 孙飞
IPC分类号： B25B27/00
摘要： 本实用新型涉及一种显示设备拆卸装置，其包括：平台，设置有第一固定机构，所述第一固定机构用以固定显示设备的第一侧面；滑轨；滑块，滑动的设置在所述滑轨上，所述滑块设置有第二固定机构可以固定所述显示设备的第二侧面。该显示设备拆卸装置，平台和滑块分别将显示设备的第一侧面和第二侧面固定，滑块在滑轨上滑动，带动显示设备的第一侧面和第二侧面发生相对移动，直至两者分离，这样拆卸显示设备时操作简单并且安全。
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