一种差分铌酸锂调制器
摘要:
本发明公开了一种差分铌酸锂调制器,涉及光通信器件技术领域,从下往上依次包括基底层、衬底层、集成波导层和覆盖层,集成波导层包括铌酸锂波导层和两个间隔分布的高折射率层,高折射率层位于铌酸锂波导层和覆盖层之间;同时,调制器还包括第一电极组、两个相对设置的第二电极组,第一电极组位于衬底层内,两个第二电极组位于集成波导层上方;第一电极组从下往上依次包括直接接触的第一金属电极和第一导电层;第二电极组从下往上依次包括直接接触的第二导电层和第二金属电极。本发明提供的差分铌酸锂调制器,具有抗干扰能力强、结构尺寸小、调节效率高等优点。
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