发明授权
摘要:
本发明公开了一种新型石墨烯光调制器结构设计。本发明属于集成光子与硅基光子学领域。新型石墨烯光调制器结构包括衬底层,人工超材料波导层,双层石墨烯层,超薄光波导层,低折射率盖层和电极。其中人工超材料波导层由高折射率材料和低折射率材料交替构成;双层石墨烯层由两层石墨烯和电介质填充层构成。本发明将人工超材料结构作为光波导结构的一部分,可以有效地调节光场的分布,增强石墨烯与光的相互作用,从而提高调制的深度和调制效率,同时通过控制倏逝波来减小器件间干扰提高器件的集成密度。该器件具有工作带宽大,调制速率高及结构紧凑等优点,对构建大带宽、高密度集成、高速的片上系统提供了一种有效的解决方案。
公开/授权文献
- CN110989216A 一种新型石墨烯光调制器结构设计 公开/授权日:2020-04-10