- 专利标题: 基于原子吸收的FP波长计温漂校准装置和方法
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申请号: CN201911354950.3申请日: 2019-12-25
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公开(公告)号: CN111006776B公开(公告)日: 2024-06-18
- 发明人: 刘广义 , 韩晓泉 , 江锐 , 冯泽斌 , 沙鹏飞 , 殷青青 , 周翊
- 申请人: 北京科益虹源光电技术有限公司
- 申请人地址: 北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号10号楼二层201
- 专利权人: 北京科益虹源光电技术有限公司
- 当前专利权人: 北京科益虹源光电技术有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号10号楼二层201
- 代理机构: 深圳市科进知识产权代理事务所
- 代理商 曹卫良
- 主分类号: G01J9/02
- IPC分类号: G01J9/02
摘要:
本发明提供了一种基于原子吸收的FP波长计温漂校准装置,包括:检测模块,用于测量激光器产生的激光光束的中心波长并获取FP波长计测量所述激光光束过程中产生的温漂校准数据;以及控制器,用于根据温漂校准数据,计算得到温漂校准参数,根据温漂校准参数调整激光光;检测模块包括阴极灯、光强探测器等装置。阴极灯和光强探测器能够得到中心波长的漂移量以及设在FP标准具上的温度传感器测得的FP标准具的温度和温度导数,检测模块将测得的多组温漂校准数据传至控制器,控制器进而得到温漂校准参数,并根据温漂校准参数调控线宽压窄模块来对激光器的激光光束中心波长进行控制,解决了FP标准具测量中心波长带来的误差,维持激光器中心波长稳定。
公开/授权文献
- CN111006776A 基于原子吸收的FP波长计温漂校准装置和方法 公开/授权日:2020-04-14