一种多方向一体化热流传感器
摘要:
一种多方向一体化热流传感器,包括热流敏感元件、热流感应壳体、传感器基座、线缆保护结构、传输线缆、电连接器,通过采用针对多个敏感方向设计的新型热流感应壳体以及厚膜敏感元件制备工艺,解决了现有技术中圆箔式热流传感器采用单一敏感方向设计导致的只能测量沿敏感面法线方向来流、响应时间长、产品效费比低的问题,结构稳定,产品成本低,测量精度高、响应时间短。
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