摘要:
本发明涉及一种基于P型SiC的新型晶体管器件及其制备方法,包括:选取碳化硅衬底;在所述碳化硅衬底表面使用第一掩模版生长空穴传输层;在所述空穴传输层表面生长钙钛矿光吸收层;在所述钙钛矿光吸收层表面或所述衬底下表面生长绝缘层;在所述绝缘层表面生长栅电极;在所述碳化硅衬底表面使用第二掩模版生长源漏电极,最终形成所述基于碳化硅/钙钛矿传输层异质结的晶体管器件;由于本发明的晶体管采用钙钛矿光吸收层/传输层来为沟道提供相同极性光生载流子,提高了现有技术中的碳化硅晶体管器件的迁移率、开关速度等其他重要参数。
公开/授权文献
- CN111029461B 一种基于P型SiC的新型晶体管器件及其制备方法 公开/授权日:2021-05-04
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