本发明公开了一种上位机下位机时间同步的方法、装置和半导体处理设备。每个所述上位机对应至少一个所述下位机，所述方法包括：步骤S110、记录动态接入网络的每个上位机的IP地址；步骤S120、根据每个所述上位机的接入顺序对所述IP地址进行排序，获得IP地址队列，并选定队首的IP地址对应的上位机为所述网络的时间主机；步骤S130、根据所述时间主机的系统时间，同步每个上位机的系统时间；步骤S140、根据每个所述上位机的系统时间，同步与其所对应的下位机的系统时间。可以根据动态记录的接入网络的上位机的IP地址，根据其接入网络的先后顺序，动态调整处于队首的IP地址所对应的上位机。