发明授权
- 专利标题: 参数设置方法及参数设置系统
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申请号: CN201911178829.X申请日: 2019-11-27
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公开(公告)号: CN111062582B公开(公告)日: 2023-10-17
- 发明人: 姜英伟
- 申请人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 申请人地址: 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
- 专利权人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 当前专利权人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
- 代理机构: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理商 彭瑞欣; 王婷
- 主分类号: G06Q10/0633
- IPC分类号: G06Q10/0633 ; G06Q50/04 ; G06F17/18
摘要:
本发明提供一种参数设置方法及参数设置系统,所述参数设置方法包括:采集并记录循环进行工艺中的指定参数的实际值;在工艺每经过N次循环之后,对自当前循环次数算起,前M次循环对应的所述指定参数的实际值进行统计和计算,至少得到所述指定参数的第一统计数据和第二统计数据;判断所述第二统计数据是否满足当前工艺所对应的调度算法的阈值范围;若判断结果为是,则将所述第一统计数据赋值给当前工艺所对应的调度算法中的所述指定参数,作为工艺下一次循环时的所述指定参数的数值;其中,M≤N,且M和N均为大于1的整数。通过本发明提高了产能以及工艺效果。
公开/授权文献
- CN111062582A 参数设置方法及参数设置系统 公开/授权日:2020-04-24