一种多孔SnO2氢敏薄膜及其制备与应用
Abstract:
本发明公开了一种多孔SnO2氢敏薄膜及其制备与应用,将SnCl4·2H2O溶于无水乙醇中,于60~70℃下搅拌均匀得到锡的前驱液;然后加入聚苯乙烯(PS)微球单分散液,在室温下搅拌均匀得到聚苯乙烯(PS)微球悬浮液的锡前驱液;将具有叉指铂电极的硅基片先后置于丙酮、无水乙醇和去离子水中分别用超声波清洗,然后置于烘箱烘干备用;将所得聚苯乙烯(PS)微球悬浮液的锡前驱液均匀旋涂在上述烘干的硅基片上,随后进行表面烘干;最后以1~3℃/min的升温速率加热至500℃煅烧2~3h,冷却后即得。本发明制备的多孔SnO2氢敏薄膜气敏性能优于SnO2薄膜,显著提高了传感器的灵敏度,灵敏度由原来的8提升至30.4,提升倍数约为4倍。
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