表面处理装置及表面处理方法
摘要:
本发明提供一种在对被处理物实施表面处理时,可以提高表面处理品质的表面处理装置及表面处理方法。该表面处理装置是对至少一部分浸渍在液体中的被处理物进行表面处理的装置,该装置具有向被处理物的被处理面喷射处理液的喷射部,所述喷射部与所述被处理物相对设置,并且该装置具有喷射部旋转机构和被处理物旋转机构中的至少一者,所述喷射部旋转机构使所述喷射部在与所述被处理物的被处理面平行的面内旋转,所述被处理物旋转机构使所述被处理物在与从所述喷射部喷射的处理液的喷射方向垂直的面内旋转。
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