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公开(公告)号：CN111424269B
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN201911357841.7
申请日：2019-12-25
申请人： 上村工业株式会社
摘要： 本发明提供表面处理装置，减少浇流式的表面处理装置的处理液(Q)的飞散量。在搬运用挂钩(16)的铅垂下方设置有蜂巢部件(60)。蜂巢部件(60)通过连结多个空出有六边形的孔的筒状部件而成。在处理液(Q)沿铅垂方向(箭头(α)方向)落下时，该处理液(Q)穿过蜂巢部件的贯通孔。然后，在与液面(H)碰撞时，该处理液(Q)的一部分被反弹。反弹的处理液(Q)的一部分向倾斜方向反弹，因此与蜂巢部件(60)的贯通孔的内壁碰撞。由此，减少了在贯通孔的上表面再次出现的处理液(Q)的量。由此，蜂巢部件(60)实现飞散防止功能。
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公开(公告)号：CN107208270B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201680009537.1
申请日：2016-01-25
申请人： 上村工业株式会社
摘要： 本发明提供一种不仅化学镀前使用的催化剂的吸附能力优良，短时间抑制气泡的产生耐起泡性优良，且对基板的浸透性也优良的新型的用于化学镀的前处理剂。本发明的用于化学镀的前处理剂含有硅烷偶联剂、表面活性剂、以及C4H9‑(OC2H4)n‑OH(n＝1‑4的整数)所表示的乙撑系二醇丁醚和/或C4H9‑(OC2H4)n‑OH(n＝1‑4的整数)所表示的丙撑系二醇丁醚。
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公开(公告)号：CN107208270A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201680009537.1
申请日：2016-01-25
申请人： 上村工业株式会社
摘要： 本发明提供一种不仅化学镀前使用的催化剂的吸附能力优良，短时间抑制气泡的产生耐起泡性优良，且对基板的浸透性也优良的新型的用于化学镀的前处理剂。本发明的用于化学镀的前处理剂含有硅烷偶联剂、表面活性剂、以及C4H9‑(OC2H4)n‑OH(n＝1‑4的整数)所表示的乙撑系二醇丁醚和/或C4H9‑(OC2H4)n‑OH(n＝1‑4的整数)所表示的丙撑系二醇丁醚。
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公开(公告)号：CN110318089A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910174665.7
申请日：2019-03-08
申请人： 上村工业株式会社
IPC分类号： C25D17/22
摘要： 提供处理液的排出时间较短并且处理效率较高的旋转式表面处理装置和用于处理槽的环状部件。通过处理槽(2)的旋转，部件(20)与电极(50)接触，而实施电镀。此时，镀覆液(16)借助泵(P)而被循环使用。在更换镀覆液(16)时等，在排出镀覆液(16)时从侧壁(80)的空隙向外部放出该镀覆液(16)。在排出时，不进行基于泵(P)的循环。形成于侧壁(80)的空隙(8)在内侧形成为比部件(20)的最小尺寸小。朝向外侧而形成为变大。因此，会迅速地进行排水。
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公开(公告)号：CN107868949A
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201710589796.2
申请日：2017-07-19
申请人： 上村工业株式会社
CPC分类号： C23C4/12 , B05B1/044 , B05B12/16 , B05B13/0264 , B05B15/58 , C23C4/02 , C23C4/04 , C23C18/1632 , C23C18/163 , C23C18/31 , C25D17/00 , C25D17/08
摘要： 本发明提供表面处理装置和表面处理方法，能够恰到好处地进行直到基板上部的表面处理。通过吊架(50)的夹紧件(52)夹住基板(54)的上端部而进行保持。在吊架(50)所保持的基板(54)的两侧设置有作为处理液放出部的管(56)。在该管(56)上以朝向斜上方放出处理液的方式设置有孔(58)。所放出的处理液流过基板(54)的表面而到达下部，通过泵(60)来进行循环而再次从管(56)放出。
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公开(公告)号：CN104419918A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201410453061.3
申请日：2014-09-05
申请人： 上村工业株式会社
IPC分类号： C23C18/30
CPC分类号： H05K3/381 , C23C18/16 , C23C18/1653 , C23C18/2086 , C23C18/22 , C23C18/30 , C23C18/38 , H05K3/181 , H05K2203/0776 , H05K2203/0783 , H05K2203/0789 , C23C18/1882
摘要： 本发明提供一种不仅绝缘树脂基板和镀膜的粘附性优良，短时间抑制气泡的产生、耐起泡性优良，且对绝缘树脂基板的浸透性也优良的新型的用于化学镀的前处理剂。本发明的用于化学镀的前处理剂含有氟化合物、表面活性剂、以及C4H9-(OC2H4)n-OH(n＝1-4的整数)所表示的乙撑系二醇丁醚和/或C4H9-(OC3H6)n-OH(n＝1-4的整数)所表示的丙撑系二醇丁醚。
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公开(公告)号：CN117070928A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311055150.8
申请日：2019-12-25
申请人： 上村工业株式会社
摘要： 本发明提供表面处理装置，减少浇流式的表面处理装置的处理液(Q)的飞散量。在搬运用挂钩(16)的铅垂下方设置有蜂巢部件(60)。蜂巢部件(60)通过连结多个空出有六边形的孔的筒状部件而成。在处理液(Q)沿铅垂方向(箭头(α)方向)落下时，该处理液(Q)穿过蜂巢部件的贯通孔。然后，在与液面(H)碰撞时，该处理液(Q)的一部分被反弹。反弹的处理液(Q)的一部分向倾斜方向反弹，因此与蜂巢部件(60)的贯通孔的内壁碰撞。由此，减少了在贯通孔的上表面再次出现的处理液(Q)的量。由此，蜂巢部件(60)实现飞散防止功能。
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公开(公告)号：CN111424268A
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN201911355641.8
申请日：2019-12-25
申请人： 上村工业株式会社
摘要： 本发明提供表面处理装置，减少浇流式的表面处理装置的处理液的飞散量。在各处理室的入口侧和出口侧具有膜形成机构(110)。膜形成机构(110)以流量5L/min～10L/min喷射不间断的0.01MPa程度的层流状的液体。该液体膜防止在飞散防止部件(60)的表面反弹的液滴弹起而进入处理室。即使板状工件(10)晃动，由于由膜形成机构(110)成的膜是液体，因此即使板状工件(10)与液体膜碰撞，液体也会沿板状工件(10)流动。由此，会减小板状工件(10)的晃动。减小各处理室内的空气向搬运方向的流入量。
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公开(公告)号：CN111094635A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201880059714.6
申请日：2018-08-23
申请人： 上村工业株式会社
IPC分类号： C25D17/00 , B05C3/04 , B05D1/18 , C23C18/16 , C23C18/31 , C25D7/00 , C25D7/12 , C25D17/08 , C25D21/10
摘要： 本发明提供一种在对被处理物实施表面处理时，可以提高表面处理品质的表面处理装置及表面处理方法。该表面处理装置是对至少一部分浸渍在液体中的被处理物进行表面处理的装置，该装置具有向被处理物的被处理面喷射处理液的喷射部，所述喷射部与所述被处理物相对设置，并且该装置具有喷射部旋转机构和被处理物旋转机构中的至少一者，所述喷射部旋转机构使所述喷射部在与所述被处理物的被处理面平行的面内旋转，所述被处理物旋转机构使所述被处理物在与从所述喷射部喷射的处理液的喷射方向垂直的面内旋转。
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