Invention Publication
- Patent Title: 一种双梯度带隙CIGS太阳能电池的叠层吸收层的制备方法
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Application No.: CN201911376602.6Application Date: 2019-12-27
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Publication No.: CN111128747APublication Date: 2020-05-08
- Inventor: 王鹏 , 张亚飞 , 张伟
- Applicant: 光之科技发展(昆山)有限公司
- Applicant Address: 江苏省苏州市昆山市玉山镇登云路268号1号房310室C1
- Assignee: 光之科技发展(昆山)有限公司
- Current Assignee: 光之科技发展(昆山)有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省苏州市昆山市玉山镇登云路268号1号房310室C1
- Main IPC: H01L21/363
- IPC: H01L21/363 ; H01L31/032 ; H01L31/18

Abstract:
本发明公开了一种双梯度带隙CIGS太阳能电池的叠层吸收层的制备方法,该方法包括以下步骤:(1)在电极上,使用四元Cu-In-Ga-Se靶材制得薄膜吸收层底层,该靶材的摩尔比例为:Se/(Cu+In+Ga)=1.00~1.30;(2)在吸收层底层上,使用四元Cu-In-Ga-Se靶材制得薄膜吸收层表层,该靶材的摩尔比例为:Se/(Cu+In+Ga)=0.75~0.99。本发明采用了预制膜硒化工艺,通过对两个不同硒摩尔比例的靶材进行溅射,然后通过高温硒化退火工艺,底层富硒促进晶体生长和实现高短流密度;表层贫硒解决了表层带隙宽度低的问题,实现了双梯度带隙,高开路电压和高填充因子以及高效率电池。
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