发明授权
- 专利标题： 离线快速检测测试设置准确性的方法
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申请号： CN201911345551.0申请日： 2019-12-24
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公开(公告)号： CN111143211B公开(公告)日： 2023-04-28
- 发明人: 薛来熙 , 王华 , 周建青 , 凌俭波 , 孟翔
- 申请人： 上海华岭集成电路技术股份有限公司
- 申请人地址： 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区郭守敬路351号2号楼1楼
- 专利权人： 上海华岭集成电路技术股份有限公司
- 当前专利权人： 上海华岭集成电路技术股份有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区郭守敬路351号2号楼1楼
- 代理机构： 上海申汇专利代理有限公司
- 代理商 徐颖; 朱月
- 主分类号： G06F11/36
- IPC分类号： G06F11/36
摘要：
本发明涉及一种离线快速检测测试设置准确性的方法，从集成电路测试时用于承载待测晶圆的设备中的测试参数信息提取出，自动处理后生成一份虚拟的晶圆分布图，作为虚拟测试步骤测试标准，对测试工程师人为编写的与测试机同步的文件，进行离线模拟运行验证，既可以保证文件的准确性，又可以不用线上验证，避免占用测试机资源，影响产能，也能规避验证中容易出现的测试事故。
公开/授权文献
- CN111143211A 离线快速检测测试设置准确性的方法 公开/授权日：2020-05-12
