激光能量分光的方法及装置
摘要:
本发明提供了一种激光能量分光的方法,包括步骤:一、获取影响工艺的激光分光束能量需求的数据;二、根据采集的各工艺数据计算各工艺的激光分光束能量需求值、相互比例及总需求值;三、调节激光发生器使得其所发出的激光束能量值与总需求值一致;四、采用偏振分光棱镜进行分光,在偏振分光棱镜的激光入射面前部设置入射波片,通过控制调节入射波片角度,使得偏振分光棱镜的激光入射角度发生改变,从而调节激光能量分光比例。还提供了一种激光能量分光的装置,包括偏振分光棱镜、偏振片、入射波片和控制系统,控制系统包括输入模块、数据采集模块、运算模块和执行模块,以各种采集数据进行处理,修正激光分光能量比例发出调节指令,控制分光能量。
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