- 专利标题: 一种在硅片表面生长硫化镉纳米线阵列的方法
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申请号: CN202010040193.9申请日: 2020-01-15
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公开(公告)号: CN111217320B公开(公告)日: 2023-08-04
- 发明人: 刘静 , 伊福廷 , 王波 , 张天冲 , 梁小筱 , 颜铭铭 , 徐源泽
- 申请人: 中国科学院高能物理研究所
- 申请人地址: 北京市石景山区玉泉路19号乙
- 专利权人: 中国科学院高能物理研究所
- 当前专利权人: 中国科学院高能物理研究所
- 当前专利权人地址: 北京市石景山区玉泉路19号乙
- 代理机构: 北京君尚知识产权代理有限公司
- 代理商 司立彬
- 主分类号: B81C1/00
- IPC分类号: B81C1/00 ; B81B7/04
摘要:
本发明公开了一种在硅片表面生长硫化镉纳米线阵列的方法,其步骤包括:1)在硅片表面制备硅金字塔结构,然后在所述硅金字塔表面上制备硫化镉种子层;其中,硅金字塔结构用于增加硅表面与硫化镉种子层的粘附性;2)用水热法在硫化镉种子层上生长硫化镉纳米线,得到硫化镉纳米线阵列;3)用去离子水对步骤2)得到的硫化镉纳米线阵列进行漂洗、晾干。本发明首次通过引入金字塔结构,结合水热生长法,在硅片表面实现硫化镉纳米线的生长;金字塔的引入,增加了硅表面与硫化镉种子层的粘附性,相对于在硅片表面引入硅柱结构来说,方法简单,成本低,易于操作。
公开/授权文献
- CN111217320A 一种在硅片表面生长硫化镉纳米线阵列的方法 公开/授权日:2020-06-02