发明授权
- 专利标题: 一种旋转结构的制备方法以及旋转结构
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申请号: CN202010054927.9申请日: 2020-01-17
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公开(公告)号: CN111232913B公开(公告)日: 2020-12-18
- 发明人: 焦继伟 , 刘京 , 费跃 , 陈思奇
- 申请人: 上海芯物科技有限公司
- 申请人地址: 上海市嘉定区皇庆路333号3幢北楼3层
- 专利权人: 上海芯物科技有限公司
- 当前专利权人: 上海芯物科技有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市嘉定区皇庆路333号3幢北楼3层
- 代理机构: 北京品源专利代理有限公司
- 代理商 孟金喆
- 主分类号: B81B3/00
- IPC分类号: B81B3/00 ; H01B7/02
摘要:
本发明实施例提供了一种旋转结构的制备方法以及旋转结构,该方法包括:采用湿法腐蚀工艺制备第一半导体结构,其中,第一半导体结构包括位于第一表面的第一斜坡凹槽,第一斜坡凹槽的斜坡面为(111)晶面;制备包括独立设置的第一半导体单元和第二半导体单元的第二半导体结构;采用键合工艺,将第一半导体结构的第一表面设置在第一半导体单元和第二半导体单元之上;在第一半导体结构的预设区域制备可旋转单元;在第一半导体结构背离第一表面侧的表面制备上电极、第一下电极和第二下电极。本发明实施例提供的技术方案,制备的斜坡面的倾斜角度可以做到很小,且制备工艺简单,提升斜坡面的制备灵活度。
公开/授权文献
- CN111232913A 一种旋转结构的制备方法以及旋转结构 公开/授权日:2020-06-05