本发明公开了一种三（三甲基硅基）亚磷酸酯的合成方法，包括以下步骤：将亚磷酸溶于有机溶剂中后滴加至六甲基二硅氮烷中，在催化剂作用下进行反应，得到三（三甲基硅基）亚磷酸酯；亚磷酸与六甲基二硅氮烷的质量比为1:2.2~1:4.4，滴加过程中温度控制在20℃~120℃，滴加完毕后保温在20℃~120℃进行反应，所述的催化剂为强酸性阳离子交换树脂。本发明的优点在于：一、原料易得，反应条件温和、转化率高可达90%以上。二、反应完成后可直接精馏，后处理步骤简单，收率高。三、整个合成过程没有废弃物产生，对环境污染小。